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逢甲大學材料系光能元件與薄膜實驗室
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(1) 薄膜太陽電池
利用三階段之四源共同爭度已能使
CIGS
複晶薄膜太陽電池之能源轉換效率提升至創新紀錄的
~20%
新高點,足堪與複晶
Si
相匹敵.
(2) 微電奈米薄膜
探討金屬性
TiN,TaN
阻礙層的特性.由於超薄,超低電阻率之阻礙層方能滿足奈米
IC
元件的低電阻,奈米溝渠填充需求
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